| 发明名称 |
MECHANISM FOR DETECTING ACTION OF BODY TO BE DRIVEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0339472(A) |
申请公布日期 |
1991.02.20 |
| 申请号 |
JP19890175190 |
申请日期 |
1989.07.06 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU TOHOKU ELECTRON:KK |
发明人 |
INOMATA SHIGEO;NAKAMURA MASARU |
| 分类号 |
C23C14/52;C23C14/54;C23C16/44;C23F1/08 |
主分类号 |
C23C14/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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