| 发明名称 |
WATER CONTENT REMOVING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0338054(A) |
申请公布日期 |
1991.02.19 |
| 申请号 |
JP19890171794 |
申请日期 |
1989.07.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KONNO YUKA;KASAI KENICHI;KUWABARA HEIKICHI;NAKAJIMA TADAKATSU;ZUSHI SHIZUO;SAKUYAMA TOMOJI |
| 分类号 |
F25B43/00;B01D15/00;B01D17/022;H01L23/473;H05K7/20 |
主分类号 |
F25B43/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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