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经营范围
发明名称
FORMATION OF PHOTORESIST FILM
摘要
申请公布号
JPH0338028(A)
申请公布日期
1991.02.19
申请号
JP19890171975
申请日期
1989.07.05
申请人
MIYAGI OKI DENKI KK;OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
TAGUCHI TAKASHI;ITO YOSHIO;ONODERA TOSHIO;ABE KAZUTOSHI
分类号
G03F7/16;H01L21/027
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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