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发明名称 Epitaxial film growth using low pressure MOCVD
摘要
申请公布号 US4994408(A) 申请公布日期 1991.02.19
申请号 US19890306600 申请日期 1989.02.06
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 JOHNSON, ERIC S.
分类号 C30B25/02;C30B25/18;C30B29/40;C30B29/48;H01L21/205;H01S5/32 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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