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发明名称 VACUUM PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0338240(A) 申请公布日期 1991.02.19
申请号 JP19890171806 申请日期 1989.07.05
申请人 HITACHI LTD;HITACHI KASADO ENG KK 发明人 TSUBONE TSUNEHIKO;KATO SHIGEKAZU;NISHIHATA KOJI;ITO ATSUSHI;TAMURA NAOYUKI
分类号 B01J3/02;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
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