发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0338034(A) 申请公布日期 1991.02.19
申请号 JP19890173314 申请日期 1989.07.04
申请人 SHARP CORP 发明人 TAKEHARA DAISUKE
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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