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经营范围
发明名称
FOCUSING ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0337948(A)
申请公布日期
1991.02.19
申请号
JP19890170744
申请日期
1989.06.30
申请人
NEC CORP;JEOL LTD
发明人
NAKAMURA KAZUO;NIHEI FUMIYUKI;MATSUI SHINJI;OCHIAI YUKINORI;NOZAKI TADATOSHI;SAWARAGI HIROSHI
分类号
H01J37/317;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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