发明名称 FOCUSING ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0337948(A) 申请公布日期 1991.02.19
申请号 JP19890170744 申请日期 1989.06.30
申请人 NEC CORP;JEOL LTD 发明人 NAKAMURA KAZUO;NIHEI FUMIYUKI;MATSUI SHINJI;OCHIAI YUKINORI;NOZAKI TADATOSHI;SAWARAGI HIROSHI
分类号 H01J37/317;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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