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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0338032(A) 申请公布日期 1991.02.19
申请号 JP19890173362 申请日期 1989.07.04
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SEGAWA KAZUAKI;HAYASHI KAZUO;SAKAMOTO SHINICHI
分类号 H01L21/288;C25D7/12 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
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