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发明名称 SINGLE WAVELENGTH OSCILLATING SEMICONDUCTOR LASER DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING DIFFRACTION GRATING
摘要
申请公布号 CA2023510(A1) 申请公布日期 1991.02.19
申请号 CA19902023510 申请日期 1990.08.17
申请人 OHKURA, YUJI;FUJIWARA, MASATOSHI 发明人 OHKURA, YUJI;FUJIWARA, MASATOSHI
分类号 G02B5/18;G03F7/00;H01L21/308;H01S5/12 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
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