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发明名称
FORMATION OF INSULATING FILM
摘要
申请公布号
JPH0338038(A)
申请公布日期
1991.02.19
申请号
JP19890172764
申请日期
1989.07.04
申请人
SONY CORP
发明人
SATO JUNICHI;GOCHO TETSUO
分类号
H01L21/76;H01L21/31;H01L21/768;H01L23/522
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
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