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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0316005(U)
申请公布日期
1991.02.18
申请号
JP19890076947U
申请日期
1989.06.29
申请人
发明人
分类号
G01B7/34;B82B3/00;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q70/04;G05D3/00;H01J37/28;H01L41/08;H01L41/09;(IPC1-7):G01B7/34
主分类号
G01B7/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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