发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0336726(A) 申请公布日期 1991.02.18
申请号 JP19890172153 申请日期 1989.07.03
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 AKAZAWA MORIAKI;YONEDA MASAHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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