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发明名称
HEAT PROCESSING FURNACE AND ITS OPERATING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0336720(A)
申请公布日期
1991.02.18
申请号
JP19900171302
申请日期
1990.06.28
申请人
DIGITAL EQUIP CORP <DEC>
发明人
EIRA FUIRITSUPOJIAN
分类号
H01L21/22;C30B31/16;F27B17/00;F27D7/02
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
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