| 发明名称 |
METHOD OF PLASMA ENHANCED SILICON OXIDE DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU606715(B2) |
申请公布日期 |
1991.02.14 |
| 申请号 |
AU19880018995 |
申请日期 |
1988.07.13 |
| 申请人 |
THE BOC GROUP, INC. |
发明人 |
EUGENE S. LOPATA;JOHN T. FELTS |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C14/32;C23C16/40;C23C16/509;C23C16/52;(IPC1-7):C23C16/40;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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