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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0332060(A)
申请公布日期
1991.02.12
申请号
JP19890167378
申请日期
1989.06.29
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
HIGUCHI TOSHIHIKO
分类号
H01L21/768;H01L21/336;H01L29/41;H01L29/78
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
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