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发明名称 High purity gas delivery control assembly
摘要
申请公布号 US4991619(A) 申请公布日期 1991.02.12
申请号 US19890451183 申请日期 1989.12.15
申请人 SAES GETTERS SPA 发明人 DELLA PORTA, PAOLO
分类号 F16K41/10 主分类号 F16K41/10
代理机构 代理人
主权项
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