| 发明名称 |
ELECTRICAL TERMINATION FOR A TANTALUM NITRIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3495959(A) |
申请公布日期 |
1970.02.17 |
| 申请号 |
USD3495959 |
申请日期 |
1967.03.09 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC CO. INC. |
发明人 |
PAUL M. JOHNSON JR. |
| 分类号 |
C23C14/18;H01C1/142;H01C1/144;H01C17/28;(IPC1-7):B23P3/20;H01L5/00 |
主分类号 |
C23C14/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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