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经营范围
发明名称
VACUUM CHAMBER FOR IONIC IMPLANTATION
摘要
申请公布号
CS272919(B1)
申请公布日期
1991.02.12
申请号
CS19880009022
申请日期
1988.12.29
申请人
DYNDA VLADIMIR ING. CSC.,CS;NOVOTNY KAREL,CS;AMBROZ ZDENEK ING.,CS;KABICEK JIRI ING.,CS
发明人
DYNDA VLADIMIR ING. CSC.,CS;NOVOTNY KAREL,CS;AMBROZ ZDENEK ING.,CS;KABICEK JIRI ING.,CS
分类号
C23C14/48;C23C14/50;H01J37/317;H01L21/687;(IPC1-7):C30B31/22
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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