发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ELECTROSTATICALLY SPRAYING AND DRYING LIQUID COAT ON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0330851(A) 申请公布日期 1991.02.08
申请号 JP19900148447 申请日期 1990.06.06
申请人 HOECHST AG 发明人 RAINHARUTO NIISU;HERUMAN IDOSHIYUTAIN;RAINHORUTO BETSUKAA;GIYUNTAA FURUTSUSHIYU
分类号 B05B5/08;B05B13/02;B05C9/00;B05C13/00;B05D1/04;H01L21/208;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/22 主分类号 B05B5/08
代理机构 代理人
主权项
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