发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ELECTROSTATICALLY SPRAYING AND DRYING LIQUID COAT ON SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0330851(A) |
申请公布日期 |
1991.02.08 |
申请号 |
JP19900148447 |
申请日期 |
1990.06.06 |
申请人 |
HOECHST AG |
发明人 |
RAINHARUTO NIISU;HERUMAN IDOSHIYUTAIN;RAINHORUTO BETSUKAA;GIYUNTAA FURUTSUSHIYU |
分类号 |
B05B5/08;B05B13/02;B05C9/00;B05C13/00;B05D1/04;H01L21/208;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/22 |
主分类号 |
B05B5/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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