发明名称 MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0330435(A) 申请公布日期 1991.02.08
申请号 JP19890166105 申请日期 1989.06.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KURITA NORIAKI;OKUDA HIROAKI
分类号 H01L21/265;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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