发明名称 FORMATION OF FLATTENED INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH0330453(A) 申请公布日期 1991.02.08
申请号 JP19890166442 申请日期 1989.06.28
申请人 SONY CORP 发明人 NISHIYAMA KAZUO
分类号 H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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