发明名称 PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0330332(A) 申请公布日期 1991.02.08
申请号 JP19890164792 申请日期 1989.06.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 KATAOKA KAZUTO
分类号 H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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