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经营范围
发明名称
PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0330332(A)
申请公布日期
1991.02.08
申请号
JP19890164792
申请日期
1989.06.27
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD
发明人
KATAOKA KAZUTO
分类号
H01L21/3205;H01L23/52
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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