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发明名称 FORMATION OF WIRING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0330428(A) 申请公布日期 1991.02.08
申请号 JP19890167492 申请日期 1989.06.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 KUROKAWA ATSUSHI
分类号 H05K3/06;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 H05K3/06
代理机构 代理人
主权项
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