发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0330452(A) |
申请公布日期 |
1991.02.08 |
申请号 |
JP19890163975 |
申请日期 |
1989.06.28 |
申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD |
发明人 |
SHINTANI YOSHIO;INAZU MIKIO |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/118 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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