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发明名称 CONVERGED ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0329249(A) 申请公布日期 1991.02.07
申请号 JP19900153331 申请日期 1990.06.12
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 NITA MASAKATSU
分类号 H01J37/04;H01J37/09;H01L21/265 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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