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发明名称 METHOD OF ISOLATION OF WAFER FOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE USE USING DIELECTRIC
摘要
申请公布号 JPH0329340(A) 申请公布日期 1991.02.07
申请号 JP19890162942 申请日期 1989.06.26
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 MEGURO KEN
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/76;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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