VERFAHREN ZUM CHEMISCHEN POLIEREN ZUR HERSTELLUNG EINER KOPLANAREN SCHICHT AUS ISOLATOR-METALL AUF EINEM SUBSTRAT.,申请号DE19863676458-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUM CHEMISCHEN POLIEREN ZUR HERSTELLUNG EINER KOPLANAREN SCHICHT AUS ISOLATOR-METALL AUF EINEM SUBSTRAT.
摘要
申请公布号	DE3676458(D1)	申请公布日期	1991.02.07
申请号	DE19863676458	申请日期	1986.07.29
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	BEYER, KLAUS DIETRICH, POUGHKEEPSIE NEW YORK 12601, US;GUTHRIE, WILLIAM LESLIE, HOPEWELL JUNCTION NEW YORK 12533, US;MARKAREWICZ, STANLEY RICHARD, NEW WINDSOR NEW YORK 12550, US;MENDEL, ERIC, POUGHKEEPSIE NEW YORK 12603, US;PATRICK, WILLIAM JOHN, NEWBURGH NEW YORK 12550, US;PERRY, KATHLEEN ALICE, LAGRANGEVILLE NEW YORK 12540, US;PLISKIN, WILLIAM AARON;RISEMAN, JACOB;SCHIABLE, PAUL MARTIN, POUGHKEEPSIE NEW YORK 12603, US;STANDLEY, CHARLES LAMBER, WAPPINGERS FALLS NEW YORK 12590, US
分类号	H01L21/3205;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/60	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
主权项
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