发明名称 NEGATIVER POLYNORBORNEN-PHOTOLACK.
摘要
申请公布号 DE3483812(D1) 申请公布日期 1991.02.07
申请号 DE19843483812 申请日期 1984.10.20
申请人 THE B.F. GOODRICH CO., AKRON, OHIO, US 发明人 BENEDIKT, GEORGE MARTIN, LAKEWOOD OHIO 44107, US
分类号 G03F7/012;(IPC1-7):G03F7/008;G03F7/038 主分类号 G03F7/012
代理机构 代理人
主权项
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