发明名称 |
PREPARATION OF FE16N2 FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0328199(A) |
申请公布日期 |
1991.02.06 |
申请号 |
JP19890159559 |
申请日期 |
1989.06.23 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KOMURO MATAHIRO;KOZONO YUZO;HANAZONO MASANOBU |
分类号 |
C30B23/02;C23C14/06;C30B29/38;H01F10/14;H01F10/26;H01F10/28 |
主分类号 |
C30B23/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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