发明名称 PREPARATION OF FE16N2 FILM
摘要
申请公布号 JPH0328199(A) 申请公布日期 1991.02.06
申请号 JP19890159559 申请日期 1989.06.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOMURO MATAHIRO;KOZONO YUZO;HANAZONO MASANOBU
分类号 C30B23/02;C23C14/06;C30B29/38;H01F10/14;H01F10/26;H01F10/28 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
主权项
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