发明名称 |
METHOD OF PREPARING AN ALKALI METAL DIFFUSION-PREVENTION LAYER BY IMPLANTING PHOSPHORUS AND OXYGEN IN A SUBSTRATE. |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2234503(A) |
申请公布日期 |
1991.02.06 |
申请号 |
GB19900008769 |
申请日期 |
1990.04.19 |
申请人 |
* NIPPON SHEET GLASS CO LTD |
发明人 |
KEIJI * OYOSHI;TAKASHI * TAGAMI;SHUHEI * TANAKA |
分类号 |
C23C14/06;C03C23/00;C23C14/08;C23C14/58 |
主分类号 |
C23C14/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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