发明名称 METHOD FOR MAKING A POLYSILICON TRANSISTOR
摘要
申请公布号 EP0364818(A3) 申请公布日期 1991.02.06
申请号 EP19890118457 申请日期 1989.10.05
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 MADAN, SUDHIR K.
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8244;H01L27/11;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/285 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址