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发明名称 (A) ;LOCAL VACUUM APPARATUS AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH038428(B2) 申请公布日期 1991.02.06
申请号 JP19870093609 申请日期 1987.04.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MATSUMOTO TOMOHIDE;SHIRAI SHIGERU;NAKAMURA MASAJI
分类号 F16K31/06 主分类号 F16K31/06
代理机构 代理人
主权项
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