| 摘要 |
On forme des structures micromécaniques (15) présentant des surfaces étroitement rapprochées des surfaces d'un substrat (11) selon des techniques de gravure à l'état humide normales, mais on ne les sèche pas de manière classique. Tandis que le substrat (11) sur lequel sont formées les microstructures (15) est encore humide, on le (11) recouvre d'un liquide que l'on peut congeler, tel que de l'eau desionisée. On congèle ensuite le liquide se trouvant sur la structure inondée (15) de manière bien régulée, de sorte que la congélation soit achevée avant que la microstructure (15) ne soit découverte. Les microstructures (15) sont jusqu'alors non défléchies, et sont couvertes par un solide sur toutes les surfaces. Le solide est ensuite sublimé à une température prédéterminée. Puisque le liquide congelé (par exemple de la glace) supporte la tension de sa propre surface, les microstructures (15) ne sont pas tirées vers le substrat (11), comme cela se produit lors du séchage de liquides. La sublimation de tout le liquide congelé laisse des microstructures (15) non défléchies avec aucune liaison permanente des surfaces (16, 18) de face, de la microstructure (15) et du substrat (11). |
