| 发明名称 |
THIN FILM FORMING DEVICE USING LIGHT EXCITATION PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0328378(A) |
申请公布日期 |
1991.02.06 |
| 申请号 |
JP19890161312 |
申请日期 |
1989.06.23 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
HIRATA YOSHIHIRO |
| 分类号 |
B01J19/12;C23C16/27;C23C16/48;C30B29/04;H01L21/205;H01L21/263;H01L21/31 |
主分类号 |
B01J19/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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