发明名称 Crystal grain diffusion barrier structure for a semiconductor device
摘要
申请公布号 US4990997(A) 申请公布日期 1991.02.05
申请号 US19890337999 申请日期 1989.04.14
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 NISHIDA, KENJI
分类号 H01L21/768;H01L23/532 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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