| 发明名称 |
TEST APPARATUS OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0326976(A) |
申请公布日期 |
1991.02.05 |
| 申请号 |
JP19890160849 |
申请日期 |
1989.06.26 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KANO TORU |
| 分类号 |
G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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