发明名称 OPERATION SPEED EVALUATING CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0325383(A) 申请公布日期 1991.02.04
申请号 JP19890161910 申请日期 1989.06.23
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 MATSUMOTO KAZUYA
分类号 G01R29/00;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;H03K19/00 主分类号 G01R29/00
代理机构 代理人
主权项
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