| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SINGLE CRYSTAL THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0324717(A) |
申请公布日期 |
1991.02.01 |
| 申请号 |
JP19890160481 |
申请日期 |
1989.06.22 |
| 申请人 |
KYOCERA CORP |
发明人 |
NITTA YOSHITERU;TANAKA KIYONARI;YAMAGUCHI NORITOSHI;TOMITA KENJI |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/263;H01L21/84 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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