VERFAHREN ZUM ENTFERNEN EINER STRUKTURIERTEN MASKIERUNGSSCHICHT.,申请号DE19863676304-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUM ENTFERNEN EINER STRUKTURIERTEN MASKIERUNGSSCHICHT.
摘要
申请公布号	DE3676304(D1)	申请公布日期	1991.01.31
申请号	DE19863676304	申请日期	1986.06.21
申请人	DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH, 7800 FREIBURG, DE	发明人	KOENIG, DIETMAR, D-7800 FREIBURG I.BR., DE
分类号	G03F7/42;H01L21/027;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/28;G03F7/26	主分类号	G03F7/42
代理机构		代理人
主权项
地址