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发明名称 SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0323676(A) 申请公布日期 1991.01.31
申请号 JP19890156836 申请日期 1989.06.21
申请人 NISSAN MOTOR CO LTD 发明人 SHINOHARA TOSHIAKI
分类号 G01P15/12;G01P15/11;H01L29/84 主分类号 G01P15/12
代理机构 代理人
主权项
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