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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0310277(U) 申请公布日期 1991.01.31
申请号 JP19890070686U 申请日期 1989.06.16
申请人 发明人
分类号 G01R31/30;H01L21/324;H01L21/326;(IPC1-7):G01R31/30 主分类号 G01R31/30
代理机构 代理人
主权项
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