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发明名称 MOLECULAR RAY EPITAXY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0323290(A) 申请公布日期 1991.01.31
申请号 JP19890154580 申请日期 1989.06.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKAHASHI NUSHITO;UEDA SHINJIRO;KAWADA HIROKI;OGAWA YOSHIFUMI
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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