| 摘要 |
La présente invention est du domaine de l'évaporation du mercure sous vide pour la croissance épitaxiale des semi-conducteurs, notamment des semi-conducteurs constitués par des éléments des groupes II à VI de la Classification Périodique. Selon l'invention, on prévoit un dispositif d'alimentation d'une cellule d'évaporation du mercure sous vide à niveau constant. Ce dispositif est constitué d'une cellule d'évaporation du mercure (1) associée à des moyens (6, 7, 8, 9) permettant le remplissage, la mise à niveau ou le vidage du mercure dans la cellule par déplacement en translation verticale des moyens d'alimentation (12) en mercure, ce déplacement pouvant être effectué soit manuellement soit par l'intermédiaire de moyens moteurs, éventuellement associés à des moyens électro-informatiques de contrôle. |
