发明名称 MANUFACTURE OF CMOS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0322473(A) 申请公布日期 1991.01.30
申请号 JP19890157671 申请日期 1989.06.19
申请人 NEC CORP 发明人 OBARA SHINJI
分类号 H01L29/78;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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