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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0322570(A) 申请公布日期 1991.01.30
申请号 JP19890157162 申请日期 1989.06.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KISHI KOICHI;SUGIURA SOICHI
分类号 H01L21/265;H01L29/861;H01L29/866 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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