| 摘要 |
Die Erfindung hat ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Behandlung eines Perforationen aufweisenden Werkstücks mit Hochfrequenzentladungsprodukten eines Plasmas zum Gegenstand. Behandlungsgas wird von oben auf das im wesentlichen in einer Behandlungskammer (2) quer angeordnete Werkstück (12) gerichtet und unten abgesaugt. Mit der Behandlungskammer ist eine Einrichtung zur Erzeugung eines Plasmas verbunden, bei der es sich vorzugsweise um einen Mikrowellengenerator mit angeschlossenem Hohlleiter (36) handelt. |
