MANUFACTURE OF SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19890157954-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0322526(A)	申请公布日期	1991.01.30
申请号	JP19890157954	申请日期	1989.06.20
申请人	SHARP CORP	发明人	FURUKAWA MASAKI;SUZUKI AKIRA;FUJII YOSHIHISA
分类号	H01L21/205;H01L21/265	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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