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发明名称 DRIER FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0322426(A) 申请公布日期 1991.01.30
申请号 JP19890157684 申请日期 1989.06.19
申请人 NEC CORP 发明人 ITO NAOYA
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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