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发明名称 DEVICE FOR DEPOSITION OF LINEAR CONTACTS IN SEMICONDUCTOR ELEMENTS
摘要
申请公布号 SU1624564(A1) 申请公布日期 1991.01.30
申请号 SU19874308070 申请日期 1987.09.22
申请人 DZARANDZKOE RROIZVODDZTVENNOE OV"EDINENIE "ENLEKTROVURRYIAMITEL" 发明人 DZNOROKNOV VLADIMIR A,SU;ILYIUDZNKIN VIKTOR I,SU
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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