Pressure sensor and method for the calibration of pressure sensors.

摘要

Bei einem Druckaufnehmer mit einer druckempfindlichen Membran (3) mit einem verdickten Innenbereich (4) und einem verdickten Randbereich (5), zwischen denen mehrere fest mit der Membran (3) verbundene Meßbalken mit Dehnungsmeßfühlern (17) angeordnet sind, wird zur Erhöhung der Genauigkeit und der Linearität vorgesehen, daß die Meßbalken kreuzartig auf der Membran angeordnet und als Biegebalken (6) ausgebildet sind, die einen längs der Erstreckung sich verändernden Balkenquerschnitt mit einem zwischen den dem Innenbereich und dem Randbereich benachbarten Biegbalkenabschnitten mit größerem Querschnitt liegenden Bereich kleinsten Querschnitts aufweisen, so daß der Druckaufnehmer als Kalibrierreferenz zur Kalibrierung von Druckaufnehmern verwendbar ist.